无尘干净室的气流速率/换气次数,一直是干净室计划中遭到存眷的成绩,跟着干净室净化源的节制后果增长及末级过滤器效力的提高级,对无关标准、导则等提出的保举或参考值能否偏于守旧,已有很多评论辩论;FFU在利用中人们担忧的乐音、毁坏培修等成绩已在实践中获得办理,跟着FFU的赓续改良,对能否采纳FFU回风体系也是个热门:悬浮份子净化(AMC)的节制在微电子及IC产业中已日趋提到日程下去,遭到存眷。
无尘干净室内必定干净度下气流速率的肯定,随干净室用处等详细环境而异,它不只受室内发尘量及过滤器效力还受其余身分影响,就产业干净室而言,影响干净度及抉择气流速率的身分主如果:
(1)室内净化源:建筑物组件、职员数目及操纵运动、工艺装备、工艺材料及工艺加工自己等都是尘粒开释源,根据详细环境而异,变更很大。
(2)室内气流流型及散布:单向流请求平均、对等的流线,但会遭到工艺装备安排和地位更改及职员运动环境等的滋扰构成部分涡流;而非单向流请求充混杂,防止死角及温度分层。